電子工業潔凈廠房設計方案

隨著計算(suan)機、微電子和信息技術的發展，推動了電(dian)子制造業的飛速發展，也(ye)帶動了潔凈室技術的發展(zhan)，同時對潔凈室的設計(ji)提出了更(geng)高(gao)的要求，電子(zi)制(zhi)造業(ye)(ye)潔(jie)凈廠(chang)房的設計是一項綜合的技術，只有(you)充分(fen)了解電子(zi)制(zhi)造業(ye)(ye)潔(jie)凈廠(chang)房的(de)設計特點，做(zuo)到(dao)設計合理，才能讓電子制造(zao)產業的(de)產品次(ci)品率降低(di)，提(ti)高(gao)生產效率。

【電子工業(ye)潔(jie)凈(jing)廠房特點】

潔凈度等級要求高,風(feng)量、溫(wen)度、濕度、壓差、設(she)備排風(feng)按(an)需受(shou)控，照度、潔凈室(shi)截面風(feng)速按(an)設(she)計或規范受(shou)控(kong)，另(ling)外該類潔(jie)凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕(shi)度(du)的要求(qiu)尤甚。因為過(guo)于干燥的廠(chang)房(fang)內極(ji)易產生靜電，造成(cheng)CMOS集成損(sun)壞。一般來說，電子(zi)廠房的溫(wen)度應(ying)控(kong)制(zhi)在(zai)22℃左右，相對濕度控制在50-60%之(zhi)間（特殊潔凈車(che)間有相關溫濕度規定）。這時可有效地消(xiao)除靜(jing)電(dian)，并使(shi)人也感覺舒(shu)適(shi)。芯片生產車間、集成電(dian)路無塵室和磁(ci)盤制造(zao)車間是屬于(yu)電子(zi)制造行業(ye)潔凈室的重要組成部分，由于電子(zi)產(chan)品在制造、生產(chan)過程中對室內空氣環境和品質的要求極(ji)為嚴格，主(zhu)要(yao)以控制微粒和浮(fu)塵為主(zhu)要(yao)對象，同時還對其(qi)環境的(de)溫濕度、新鮮空(kong)氣(qi)量(liang)、噪聲等作出了嚴格的規定(ding)。

【建(jian)議方(fang)案】

●電子制造廠萬級(ji)潔凈(jing)室內的噪聲級(ji)（空態）：不應大于65dB(A)

●電子(zi)制造廠潔(jie)凈室垂直流潔(jie)凈室滿布比不(bu)應(ying)小于60%，水平單向流潔凈(jing)室(shi)不(bu)應小于40%，否則就是局(ju)部單向流了

●電(dian)子制(zhi)造廠潔凈室與室外的靜壓(ya)差不應小于10Pa，不同(tong)空氣潔凈度的潔凈區與(yu)非潔凈區之(zhi)間的靜(jing)壓差不應小于5Pa

●電子制造行(xing)業(ye)萬級(ji)潔凈(jing)室(shi)內的(de)新鮮空氣量應取下(xia)列二項中的(de)最(zui)大值 ●補償室內(nei)排風量(liang)和保持室內(nei)正壓值(zhi)所需(xu)的新鮮空氣(qi)量(liang)之和

●保證供(gong)給潔凈室內每(mei)人每(mei)小(xiao)時的(de)新鮮空(kong)氣量不(bu)小(xiao)于40m3 電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱器，應設(she)置新(xin)風(feng)，超溫斷電保護，若采(cai)用點加濕時應設(she)置無(wu)水保護，寒冷(leng)地(di)區，新風系統應(ying)設置(zhi)防(fang)凍保護措施。無塵室的送風量，應(ying)取下面(mian)三項最大值：

●保(bao)證電(dian)子(zi)制造廠無塵室空氣(qi)潔凈度等級(ji)的送(song)風量(liang)

●根據(ju)熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈(jing)室(shi)的送(song)風(feng)量

●向電子(zi)制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量